Вакуумдук манипуляторлор атайын вакуумдук камераларда пластинкаларды же буюмдарды жылдыруу же жайгаштыруу үчүн жана материалдарды иштетүү үчүн колдонулат. Алар ийкемдүүлүктү жогорулатат, анткени катуу шилтемелер колдонулбайт. Кээ бир вакуумдук манипуляторлор монтаждоочу түзүлүштөрдү же акыркы эффекторлорду камтыйт. Башкаларга жүктөө кулпулары жана солкулдаткыч таякчалар кирет. Көбүнчө вакуумдук манипуляторлор вакуумдук камералар менен бирге колдонулат. Вафли иштеткичтери же роботтору PVD, CVD, плазмалык оюу же башка вакуумдук иштетүү камераларына пластинкаларды же субстраттарды жылдыруу үчүн вакуумдук манипуляторлордун автоматташтырылган түрү. Вакуумдук камераны түзүү үчүн вакуумдук мотор же вакуумдук мотор керектүү субатмосфералык басымга жеткенге чейин идиштен абаны физикалык түрдө айдайт. Эгерде вакуумдук камерада ультра жогорку вакуум бар болсо, анда ультра жогорку вакуумдук манипулятор жана ультра жогорку вакуумдук мотор колдонулушу керек.
1. Соргучтун уникалдуу дизайны объектти каалоосу боюнча көтөрүлүп же түшөт, бирок операцияны ыңгайлуу жана так кылуу үчүн соргучтун туруктуу отургучунун каалаган багытында айланта алат. Алыстан башкаруунун дизайны операцияга ыңгайлуулукту алып келет жана колдонуучулардын коопсуздугун камсыз кылат.
2. Вакуумдук соргуч машинанын кыскысы күчтүү adsorption күчү, жогорку коопсуздук жана зыян азыктарын коргоо менен, импорттолуучу соргуч табак кабыл алат.
3. Вакуум кран жонокой натыйжалуулугун жогорулатуу, жумушчу күчүн азайтуу жана ишкана чыгымдарды үнөмдөө үчүн морт, көтөрүү кыйын жана жылмакай бети менен буюмдарды алып жүрө алат.